banniere
banniere

USTC het belangrike vordering gemaak op die gebied van laser-mikro-nano-vervaardiging

Navorser Yang Liang se navorsingsgroep by die Suzhou Institute for Advanced Study aan die Universiteit van Wetenskap en Tegnologie van China het 'n nuwe metode ontwikkel vir die vervaardiging van metaaloksied-halfgeleier-mikro-nano, wat die laserdruk van ZnO-halfgeleierstrukture met submikron-presisie besef het, en dit gekombineer het met die mikroelectron, vir die eerste keer die integreerde Laser-regskrywings van die laser, vir die geïntegreerde Laser-regskrywings van die laser, vir die geïntegreerde Laser-regskrywings van die Laser-regskrywings van die eerste keer, vir die geïntegreerde Laser-regskrywings, wat die geïntegreerde Laser-regskrywer is. Komponente en stroombane soos diodes, triodes, memristors en koderingstroombane, en sodoende die toepassingscenario's van laser-mikro-nano-verwerking uitgebrei na die veld van mikro-elektronika, in buigsame elektronika, gevorderde sensors, intelligente MEM's en ander velde het belangrike toepassingsprosekte. Die navorsingsresultate is onlangs in "Nature Communications" gepubliseer onder die titel "Laser -gedrukte mikro -elektronika".

Gedrukte elektronika is 'n opkomende tegnologie wat drukmetodes gebruik om elektroniese produkte te vervaardig. Dit voldoen aan die kenmerke van buigsaamheid en verpersoonliking van die nuwe generasie elektroniese produkte, en sal 'n nuwe tegnologiese rewolusie na die mikro -elektroniese industrie bring. Oor die afgelope 20 jaar het inkjet-drukwerk, laser-geïnduseerde oordrag (lift) of ander druktegnieke groot vordering gemaak om die vervaardiging van funksionele organiese en anorganiese mikro-elektroniese toestelle moontlik te maak sonder dat 'n skoonkameromgewing nodig is. Die tipiese kenmerkgrootte van bogenoemde drukmetodes is egter gewoonlik volgens die volgorde van tien mikron, en benodig dikwels 'n hoë temperatuur na-verwerkingsproses, of maak staat op 'n kombinasie van veelvuldige prosesse om die verwerking van funksionele toestelle te bewerkstellig. Laser-mikro-Nano-verwerkingstegnologie gebruik die nie-lineêre interaksie tussen laserpulse en materiale, en kan komplekse funksionele strukture en toevoegingsvervaardiging van toestelle bereik wat moeilik is om te bereik deur tradisionele metodes met 'n akkuraatheid van <100 nm. Die meeste van die huidige laser-mikro-nano-vervaardigde strukture is egter enkele polimeermateriaal of metaalmateriaal. Die gebrek aan laser-direkte skryfmetodes vir halfgeleiermateriaal maak dit ook moeilik om die toepassing van laser-mikro-nano-verwerkingstegnologie uit te brei na die veld van mikro-elektroniese toestelle.

1-2

In hierdie tesis het die navorser Yang Liang, in samewerking met navorsers in Duitsland en Australië, innoverend laserdruk ontwikkel as 'n druktegnologie vir funksionele elektroniese toestelle, die realisering van halfgeleier (ZnO) en geleier (saamgestelde laserdruk van verskillende materiale soos PT en AG) (Figuur 1), en nie nodig nie µm. Hierdie deurbraak maak dit moontlik om die ontwerp en druk van geleiers, halfgeleiers en selfs die uitleg van isolerende materiale aan te pas volgens die funksies van mikro -elektroniese toestelle, wat die akkuraatheid, buigsaamheid en beheerbaarheid van die druk van mikro -elektroniese toestelle aansienlik verbeter. Op grond hiervan het die navorsingspan die geïntegreerde laser-direkte skryfwerk van diodes, memristors en fisies nie-reprodusente enkripsie-stroombane suksesvol besef (Figuur 2). Hierdie tegnologie is versoenbaar met tradisionele inkjet-drukwerk en ander tegnologieë, en dit sal na verwagting uitgebrei word tot die druk van verskillende P-tipe en N-tipe halfgeleier metaaloksiedmateriaal, wat 'n sistematiese nuwe metode bied vir die verwerking van komplekse, grootskaalse, driedimensionele funksionele mikro-elektroniese toestelle.

2-3

Tesis: https: //www.nature.com/articles/s41467-023-36722-7


Postyd: MAR-09-2023